晶片跟人一樣,出廠前要先做體檢。
以前這一關很快:一顆手機處理器,不到 1 分鐘就測完。現在的 AI 晶片,一顆可能要 10 分鐘以上,而且每一顆都得測,不能只抽樣。
再加上共同封裝光學(CPO,Co-Packaged Optics),也就是把負責收發光訊號的元件和運算晶片包進同一顆封裝,難度又高了一層。電訊號用細針碰一下就測得到;光訊號卻得先把光纖對準到比頭髮細幾十倍的位置,才量得到。用傳統做法,一顆矽光子晶片(在矽晶片上做出光的通道、用光傳資料的晶片)做完整的光學檢查,平均要超過 100 秒。
這篇分四段講:
一顆晶片出廠前,會在哪三個時間點被檢查
測試機靠什麼碰到晶片,光又為什麼不能用同一根針
CPO 的四道測試關卡,台灣公司各在哪一關
台股史上承銷價最高的新股漢測(7856),在這條產業鏈上賣的是什麼
先從一顆普通晶片怎麼出廠說起。
檢查時間一拉長,產線上最擠的地方,就從「製造」變成了「檢查」。(示意插畫)
晶圓廠做出來的,是一整片圓形的晶圓,上面密密麻麻排著幾百到幾千顆晶粒(Die,之後會變成一顆顆晶片的小方塊)。要變成能焊到電路板上的成品,還得送進封裝測試廠(OSAT,Outsourced Semiconductor Assembly and Test,專門幫晶片「穿外殼」和「做體檢」的工廠),走完十個步驟。
這十步分成三段:切割前、組裝、出貨前。其中三步是檢查,另外七步是加工。
檢查排在哪個時間點,決定一顆壞晶片會浪費多少錢。越早抓到,丟掉的東西越便宜。
橘色是檢查步驟。AI 晶片在最終測試之後,通常還會再加一道系統級測試(SLT)。
1 晶圓針測(CP,Chip Probe) 晶圓還沒切開之前,先用一片布滿細針的探針卡,一顆顆碰觸晶粒上的金屬接點,通電、讀訊號,把壞的標記起來。壞晶粒就不會進入後面的封裝,省下材料和工時。這一步不一定在封測廠做,很多是在晶圓廠就先測好。
2 背面研磨(Back Grinding) 從背面把晶圓磨薄。磨薄之後,封裝才能做得輕薄,好幾顆晶片也才疊得起來;矽變薄了,熱也比較容易散出去。
3 晶圓切割(Dicing) 用鑽石刀片或雷射,沿著晶粒之間預留的「切割道」,把整片晶圓切成一顆顆獨立的晶粒。
切好的晶圓黏在藍色膠帶上,上方幾顆晶粒已經被夾走,送去下一步封裝。
照片:Khpsoi/Wikimedia Commons(CC BY-SA 4.0)
4 黏晶(Die Attach) 機器把檢查合格的晶粒一顆顆夾起來,固定到底座上。底座可能是導線架(晶片底下的金屬支架)、IC 載板(晶片和主機板之間的小塊多層電路板),或是先進封裝用的中介層(Interposer,讓好幾顆晶片並排互傳資料的轉接板)。均華(6640)的晶粒挑揀機和黏晶機,做的就是這一步。
5 打線或覆晶接合(Wire Bonding、Flip Chip) 傳統做法是用比頭髮還細的金線或銅線,把晶片上的接點一條條拉到外面的金屬腳。先進封裝則把晶片翻過來,用底部一排排極小的焊點,也就是微凸塊(Micro-bump),直接接到下方的中介層。台積電的先進封裝 CoWoS 用的就是這種做法。
還有一種接得更密的方式,叫混合鍵合(Hybrid Bonding):不用焊點,直接讓兩片晶片上的銅面貼合在一起,這是台積電 SoIC 技術的做法。用 SoIC 疊好的晶片,可以再放進 CoWoS 封裝裡,但兩者是不同的製程。
6 封膠(Molding) 用環氧樹脂這類封裝材料把晶片包起來,擋住濕氣和碰撞,等於幫晶片穿上一層硬殼。
7 植球與切單(Ball Mount、Singulation) 常見的球柵陣列(BGA,Ball Grid Array)封裝,會在底部種上一顆顆小錫球,之後焊到電路板上當作接點;種好之後,再把一整條載板切成一顆顆成品。另一種用導線架的封裝,這一步叫剪切成型(Trim and Form):把金屬腳剪開、彎成需要的形狀。
8 預燒(Burn-in) 把晶片放進高溫環境、加上比平常高的電壓,連續運轉一段時間。晶片和燈泡很像,故障多半集中在剛開始使用的那段時間,業界叫「早夭期」。預燒就是讓體質不好的晶片在工廠裡先壞掉,不要等到客戶手上才出問題。印能科技(7734)除了封裝製程設備,也做高功率的預燒測試機。
9 最終測試(FT,Final Test) 把封裝好的成品放進測試座,由測試機跑一遍完整的功能和速度測試,確認規格都達標。AI 晶片通常還會多一道系統級測試(SLT,System-Level Test):把晶片裝在接近真實伺服器的環境裡,實際跑一段工作,看會不會出錯。致茂(2360)在 2026 年第一季法說會(公司向投資人說明營運的會議)提到,AI 晶片的系統級測試時間,已經從大約 4 小時再往上拉長。這是 AI 晶片的數字,不是 CPO 的數字。
10 印字與包裝(Mark and Pack) 用雷射在晶片表面印上品牌和型號,再裝進防靜電的捲帶或托盤出貨。實際產線上,印字不一定排在最後,時間點會依封裝類型調整。

Aehr Test Systems($AEHR)的 FOX-XP 預燒與測試設備。它把預燒提前到還沒切開的晶圓階段就做,原廠列出的適用產品包括邏輯、記憶體、光通訊和功率元件。這和第 8 步「封裝後預燒」不是同一個時間點。
圖片來源:Aehr Test Systems 產品頁(原廠產品圖,未經修改)

同一顆壞晶粒,在晶圓上抓到,只丟掉一小塊;封裝完才發現,整組一起報廢。(示意插畫)
看 AI 晶片就懂。一顆 AI 加速器(專門跑 AI 運算的晶片)的封裝裡,除了運算晶片,還會貼上好幾組高頻寬記憶體(HBM,High Bandwidth Memory,一層層疊起來、專門快速餵資料給 AI 晶片的記憶體)。如果運算晶片是壞的,卻到封裝完成才發現,旁邊好好的 HBM 也得跟著一起丟掉。
所以業界追求已知良好晶粒(KGD,Known Good Die):放進封裝之前,就先確定每一顆都是好的。
上面是一般晶片的體檢流程。CPO 多了「光」,檢查站會變成四道以上,而且越後面那一道,被檢查的東西越貴。第四到第六節會一站一站拆開來看。
現在主流的 AI 晶片,多半採用台積電的先進封裝 CoWoS:把運算晶片和高頻寬記憶體並排放在中介層上,再一起封裝。需求一下子湧上來,瓶頸出現在三個地方。
產能:機台和產線不夠,擴產追不上訂單。
良率(一批產品裡合格品的比例):晶片越做越大,一加熱就容易彎。
測試:每顆晶片要測的東西變多、時間變長,測試機、探針卡、測試座通通吃緊。
在 2026 年台灣國際半導體展(SEMICON Taiwan)期間,業界轉述的數字是:2025 年全球先進封裝需求,大約是每個月 14.6 萬片 12 吋晶圓的量(不同產品換算成同一種晶圓片數),供應缺口約 23%,大量訂單要等一年以上,最快 2027 年下半年才會緩解。這組數字沒有經過台積電或國際半導體產業協會(SEMI)正式確認,看趨勢就好。
台灣設備商在這一段的位置:
壓膜、貼膜、撕膜、烘烤等封裝製程設備
晶粒挑揀機(台灣市占第一)和高精度黏晶機
CoWoS 封裝裡疊了好幾種材料:矽晶片、中介層、有機載板(樹脂做的多層電路板)和封裝膠。每種材料受熱膨脹的程度不一樣,這個差異叫熱膨脹係數(CTE,Coefficient of Thermal Expansion)。一加熱,材料之間互相拉扯,整片就彎起來,這就是翹曲(Warpage)。晶片越大,彎得越明顯,就像餅乾烤得越大片,出爐後越容易翹。
另一個問題是封裝膠裡殘留的小氣泡,可能讓整顆昂貴的晶片報廢。印能科技(7734)的壓力除泡系統(VTS)和翹曲抑制系統(WSS),處理的就是這兩件事。
翹曲怎麼發生、怎麼解,可以看另一篇 翹曲 Warpage:先進封裝的隱形瓶頸與投資地圖。
全球最大的晶片測試機廠 Advantest(愛德萬測試,日本・6857)高層在 2026 年 3 月說:一顆手機處理器測試不到 1 分鐘,一顆 AI 晶片可能要超過 10 分鐘。
另一個變化是「每顆都測」。以前消費性電子的晶片,通常只抽一部分來測;AI 晶片一顆太貴,裝進伺服器之後又很難拆換,所以必須 100% 全部測過。
測試時間拉長十倍,同樣的產量就需要更多測試機,也需要更多探針卡和測試座。這兩樣是耗材:針會磨損,晶片設計一改通常就得重做。這也是為什麼這一段的台灣公司,營收會跟著 AI 晶片出貨量走:
懸臂式探針卡全球第一,垂直式探針卡台灣第一,產能持續擴充(兩種探針卡的差別見第三節)
依研究機構 Yole 統計的 2024 年排名,為全球最大的測試座供應商
這些時間到底差多少,第四節會把光學檢查、系統級測試放進同一張圖裡比較。
負責下指令、判斷好壞的是測試機(ATE,Automatic Test Equipment)。但測試機本身碰不到晶片,中間需要一個「轉接頭」,把測試訊號送進晶片、再把結果讀出來。
探針卡(Probe Card):晶圓還沒切開時用。一整片細針往下壓,扎在每顆晶粒的金屬接點上。
測試座(Test Socket):封裝完成後用。成品晶片放進座子裡,底下一根根帶彈簧的細針,從下方頂住晶片的錫球。
除了轉接頭,還需要機器負責「搬」:晶圓階段靠探針台(Prober)移動晶圓,把晶粒一顆顆送到探針底下;成品階段靠分選機(Handler)把晶片放進測試座、控制溫度,測完再把合格和不合格的分開。
示意圖,不是實際比例。左右兩邊分工一樣:測試機是大腦,探針卡或測試座是指尖,探針台或分選機是手。

懸臂式探針卡特寫。這張卡一次可以測好幾顆影像感測器(手機相機裡的感光晶片),每個開口四周斜伸出來的細針,就是往下扎在晶粒接點上的部分。
照片:Jasycheng/Wikimedia Commons(CC BY-SA 4.0)

拆開外殼、正在維修的探針台(Electroglas 4090u+)。中間圓盤上放著晶圓,機器會移動它,把晶粒一顆顆送到探針卡底下;正常運作時,探針卡和測試頭裝在上方。
照片:Ixnayonthetimmay(MarTek, Inc.)/Wikimedia Commons(CC BY-SA 3.0)
懸臂式探針卡(CPC,Cantilever Probe Card):針像一根根斜伸出去的釣竿,從卡片邊緣往中間伸。技術成熟、成本低,但針沒辦法排得太密。
垂直式探針卡(VPC,Vertical Probe Card):針像一整排直立的釘子,正面往下壓,可以排得很密、布滿整顆晶粒。AI 晶片的接點可能多達上萬個,靠的就是這種。高階的垂直針是用半導體的微影製程做出來的,叫做微機電(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)探針。
還有一種薄膜式探針卡(Membrane Probe Card):接觸點做在一層薄膜上,訊號走的路很短,適合測射頻晶片(處理手機、Wi-Fi 這類無線訊號的晶片)。第七節介紹的漢測就在做這種。
| 特性 | 探針卡(Probe Card) | 測試座(Test Socket) |
|---|---|---|
| 用在哪一步 | 晶圓針測(CP):晶圓切開之前 | 最終測試(FT)和系統級測試(SLT):封裝完成之後 |
| 接觸什麼 | 晶粒上的金屬接點(凸塊,或專門留給測試用的接點) | 成品晶片底部的錫球或金屬腳 |
| 搭配的搬運設備 | 探針台(Prober) | 分選機(Handler) |
| 高階技術 | 垂直式或 MEMS 探針:針更密,可以布滿整顆晶粒 | 高頻同軸測試座(Coaxial Socket):每根訊號針外面包一圈接地,像迷你版的有線電視線,高速訊號才不會失真;AI 晶片還要耐大電流、能控溫,甚至用液體散熱 |
| 耗材性質 | 針會磨損;晶片設計一改,通常要重做 | 針會磨損;封裝尺寸一改,通常要重做 |
| 矽光子、CPO 已公開布局 | FormFactor($FORM):Triton、CM300xi-SiPh Technoprobe(義大利・TPRO):Eclipse Dynamic Jenoptik(德國・JEN):UFO Probe Card 旺矽(6223):雙面晶圓探針系統 上詮(3363):光纖陣列探針卡 漢測(7856):薄膜式探針卡 | 穎崴(6515):全球測試座龍頭(依 Yole 統計,2024 年全球第一)。進到 CPO,公司表示 CPO 測試座專案九成以上用的是穎崴方案,手上相關專案超過 10 個,全球主要客戶幾乎都涵蓋,但沒有公布名單 |
一般晶片的探針卡市場:依研究機構 TechInsights 統計的 2021 年營收,前五名依序是 FormFactor、Technoprobe、MJC(Micronics Japan,日本・6871)、JEM(Japan Electronic Materials,日本・6855)、旺矽,前十大合計超過八成;中華精測(6510)當年第一次擠進前十。這是 AI 熱潮之前的資料,名次可能已經改變。旺矽在懸臂式探針卡是全球第一。
測試座:依 Yole 統計的 2024 年排名,穎崴全球第一;Cohu($COHU)和 Advantest(日本・6857)也是主要供應商。
測試機:全球由 Advantest 和泰瑞達 Teradyne($TER)兩家主導。
CPO 是把光學引擎(負責把電訊號轉成光、再把光轉回電的小模組),和交換器晶片或運算晶片封在同一顆封裝裡,晶片之間改用光傳資料。交換器是資料中心裡負責把資料轉送到正確伺服器的設備。
傳統測試只量電,到這裡就不夠了。光子晶片(PIC,Photonic Integrated Circuit,在矽晶片上做出讓光行走的線路)要量的是光:光損失了多少、光有多強、光的顏色(也就是波長)對不對,還要確認電轉光、光轉電的效率。
難在三件事:對準、光源、時間。
示意圖,不是實測數值。兩張曲線用同一把橫軸尺。左:電探針只要落在接點範圍內就導通,可以偏移好幾十微米。右:光纖幾乎垂直、略為傾斜地對準晶片,只要偏移幾微米,進入晶片的光就明顯變少,所以要一邊移動一邊看光的強度,找到最亮的點才開始量。
電探針只要扎到接點上就導通。接點有幾十微米寬(一根頭髮大約 70 微米粗),稍微偏一點沒關係。
光就不一樣了。光纖射出的光點直徑大約 10 微米,要對準晶片表面的光柵耦合器(Grating Coupler)。它是一小塊刻著細密溝紋的區域,作用像漏斗的入口:把從上方射下來的光「折」進晶片內部的光波導(Waveguide,晶片裡讓光沿著走的細小通道,像迷你光纖)。光纖不是垂直插下去,而是稍微傾斜一個小角度(常見設計約 8 度);位置偏個幾微米、角度歪一點,進去的光就會明顯變少。
所以量測之前要先「找光」:定位台一邊微調位置,一邊看光的強度,找到最亮的那一點才開始量。義大利探針卡廠 Technoprobe 的研究團隊在 2026 年發表的論文提到,這類定位系統的移動精度可以細到 1 奈米以內(1 奈米是 1 微米的千分之一);前後、左右、上下,再加上三個方向的轉角,一共六個方向的對準誤差,通常要壓在 100 奈米以內。
換成面積來看更直觀:光纖光點的截面約 78.5 平方微米,晶片裡常見的矽光波導截面只有 450 × 220 奈米,約 0.099 平方微米,兩者差了將近 800 倍。光柵耦合器先把光收進來,再一路收窄導進波導;但只要光纖沒對準,損失就很明顯。
連震動和溫度變化,都可能讓已經對好的位置跑掉。
矽本身不會發光,所以 CPO 的光要靠另外的雷射提供。雷射是整套系統裡最容易壞、也最怕熱的零件:溫度一高,光就變弱,光的顏色(波長)也會跟著偏掉。
所以主流做法是把雷射搬到封裝外面,做成可以插拔更換的外部光源(ELS,External Laser Source),再用光纖把光送進晶片。測試時也得在高溫和低溫下各測一次,確認光的強度和波長夠穩定。
示意圖,只畫趨勢,不是實測數值。上:雷射放在交換器前面板、可以插拔的外部光源,透過保偏光纖(能維持光振動方向的特殊光纖)把光送到晶片旁的光學引擎,避開最熱的地方。下:溫度升高時,雷射輸出的光會變弱,波長也會往長的方向偏移。
雷射為什麼非搬出去不可,第二篇 CPO 量產卡在三件事 有完整說明。
研究機構 TrendForce 2026 年 4 月的報告指出,用傳統做法,一顆光子晶片做完整的光學檢查,平均要超過 100 秒;摩根士丹利 2026 年 6 月的報告也提到,精細的光學探針操作到現在還很依賴人工。
時間大多花在「找光」。把光纖裝在探針台旁邊的定位器上,一顆一顆慢慢對準,Technoprobe 的論文形容是「每顆晶粒要以分鐘計」。
自動化正在把這個時間往下壓。同一篇研究把定位器直接做進探針卡之後,單顆對準縮短到幾秒;美國探針卡大廠 FormFactor 也表示,它的自動化邊緣耦合量測系統(從晶片側邊把光送進去),搭配即時修正光路的技術(自適應光學,Adaptive Optics)和搜尋演算法,每顆晶粒的測試時間可以壓到 5 秒以內。
所以 100 秒不是物理極限,而是今天產線的普遍狀況。量產規模能不能放大,要看這些自動化方案多快真正進到產線。

電的測試像插插頭,插進去就通;光的測試像隔著一段距離把光束穿過鑰匙孔,還得先找到孔在哪。(示意插畫)
刻度是對數:每往右一格,時間就多十倍。這五個數字量的東西不一樣(單顆光學檢查、整顆晶片測試、系統級測試),放在一起只是為了比較量級。「5 秒以內」是廠商針對特定系統、特定測試項目的說法,不是產線平均。來源:Advantest 高層說法(科技新報 2026/3/19)、TrendForce(2026/4/24)、FormFactor(2025/7/24)、致茂 2026 年第一季法說會。
要在同一片晶圓上同時測電和光,目前有兩種商用做法。
光纖裝在探針台上。電的部分照舊用探針卡;光纖另外夾在探針台的多軸定位器上,從旁邊伸進來對準。FormFactor 的 CM300xi-SiPh、旺矽的矽光子探針系統都屬於這一類。好處是彈性大,缺點是每顆晶粒都得重新找光。
光纖直接做進探針卡。把一整排光纖和壓電定位器(壓電材料通電會微微變形,可以推動光纖做極細微的移動)整合進探針卡裡,對準時要移動的距離更短、動作更小。
整合式光電探針卡剖面示意圖,不是實際比例。結構依 Technoprobe Eclipse Dynamic 的公開論文描述繪製,各家設計不同。
電:MEMS 垂直探針。往下扎在晶粒的電性接點上,把電訊號送進去、讀出來。
光:光纖陣列單元(FAU,Fiber Array Unit)。一整排光纖卡在 V 字形溝槽裡固定好,末端懸在晶圓表面上方,中間隔著一小段空氣,對準晶片上的光柵耦合器,光就從這裡進出晶片。
動:壓電定位器。壓電材料通電時會產生極微小的變形,用來推動光纖陣列做奈米等級的微調。Technoprobe 的 Eclipse Dynamic 用三個壓電元件、0 到 120 伏特驅動,可以在 15 × 15 微米的範圍內移動,還能修正傾斜角度。
整合式探針卡有兩條路線,比的東西不一樣:
Technoprobe(義大利・TPRO)的 Eclipse Dynamic:卡上的壓電定位器每顆晶粒都微調一次,比的是對準速度。
Jenoptik(德國・JEN)的 UFO Probe Card:同一張卡放電測和光測兩個模組,光學設計成對位置偏移不敏感,不必每顆重新找光,比的是量測結果穩不穩定,重複量測的差異約 0.3 dB(分貝,表示光強度變化的單位)。
CPO 的第二道測試關卡更麻煩。這時負責處理電訊號的電子晶片(EIC,Electronic Integrated Circuit)已經和光子晶片接合在一起,電的接點在一面,光的出入口在另一面。
台灣供應鏈把這種測法叫「上電下光」,國際上多稱為雙面晶圓級光電測試(double-sided wafer-level electro-optical test):一面用探針卡把電訊號送進電子晶片,另一面同時用光纖對準光子晶片,兩面一起測。
所以探針台必須能從上下兩面,同時接觸同一片晶圓。旺矽(6223)已經有自家的雙面晶圓探針系統。
示意圖,不是實際比例。

FormFactor CM300xi-SiPh 的垂直對光設定:光纖由定位臂夾著,從上方略為傾斜地對準晶圓表面,上方是用來觀察的顯微鏡頭。
圖片來源:FormFactor 產品頁(原廠產品圖,未經修改)
Insertion 指的是「測試站」,也就是產線上安排一次檢查的位置。日本測試機大廠 Advantest 在 2025 年的公開簡報中,把矽光子測試的前三站編號為 Insertion 1、2、3;封裝成模組之後的測試,統稱為「Insertion 3 以後」,那一段可能不只一站。
台灣公司的法說會和媒體,多半把它簡化成四道;致茂再把第四道拆成兩段,叫 4-O 和 4-E。站點怎麼切,業界目前還沒有統一標準,下文照台灣業界常用的四道來講。
每過一關,被測的東西就多組裝一層,也更貴一層。這是第一節「先確認每顆都是好的」推到極致,Advantest 稱為測試左移(Shift Test Left):把檢查盡量往產線前面搬。
為什麼 CPO 特別需要這樣做?摩根士丹利 2026 年 6 月的報告估計(這是外資的推估,不是台積電公布的數字),台積電 SoIC 接合製程的良率約 50% 到 60%,後段封裝組裝的良率約 20% 到 50%。同一份報告也把 2027 年光學引擎的出貨量估在 600 到 700 萬顆,遠低於市場原本預期的 2,000 到 3,000 萬顆。良率這麼低,每晚一關才發現問題,就多丟掉一層價值。
測試站依 Advantest 公開簡報,以及台灣業界常用的四道分法整理;Advantest 把封裝後的測試統稱為「Insertion 3 以後」。
測什麼:還沒和電子晶片接合的光子晶圓,只從一面測。量基本的電性和光學數據:光有多強、損失了多少,以及暗電流(沒照到光時,偵測器仍會漏出的微小電流,越小越好)。業界也叫它光學晶圓允收測試(OWAT,Optical Wafer Acceptance Test)。
誰在做、進度到哪,看下面的表。

一片 300 毫米(12 吋)的矽光子晶圓。第一關檢查的就是這個階段。
照片:Ehsanshahoseini/Wikimedia Commons(CC BY-SA 4.0)
測什麼:電子晶片接合到光子晶圓上之後、切開之前,兩面同時測(上電下光)。確認電能不能正確轉成光、光能不能正確轉回電,也要測高速傳輸表現和 S 參數(高速訊號經過元件時,被反射、穿透了多少),確認接合過程沒有把效能弄壞。
誰在做、進度到哪,看下面的表。
測什麼:切開、接上光纖之後的光學引擎。做完整的校準、直流和高速測試,以及光迴路測試(把送出去的光繞一圈收回來比對),挑出確認良好的光學引擎(KGOE,Known Good Optical Engine),才送去和運算晶片封在一起。
誰在做、進度到哪,看下面的表。
測什麼:光學引擎和交換器或運算晶片封成完整的 CPO 之後,驗證整個系統功能正不正常,並做光迴路測試。致茂把這關再拆成兩段:4-O 測光訊號的進出,4-E 測誤碼率(BER,Bit Error Rate,傳送的資料裡出錯的比例,越低越好)。
誰在做、進度到哪,看下面的表。
同樣出現在 CPO 測試鏈上,這些公司的生意模式分成三種,跟「出貨量」的關係完全不同:
資本設備(測試機、探針台、分選機、光纖對準機台):買一次用很多年,跟著客戶擴廠走。
介面耗材(探針卡、測試座):會磨損、晶片改版就要換,跟著測試次數走,量產之後會重複下單。
檢測與分析:光焱的線上光學檢測設備掛在探針台上,跟著產線導入走;宜特、閎康、汎銓是接案做實驗室分析,找出「哪裡壞、為什麼壞」,良率越難搞越忙,但不會跟出貨量等比例成長。
| 類型 | 公司 | Insertion 1 | Insertion 2 | Insertion 3 | Insertion 4 | 目前公開進度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 資本設備 | 致茂 2360 | 訂單 | 訂單 | 訂單 | 4-O 訂單 4-E 試產 | CPO 業務 2026 年 7 月起開始貢獻營收;公司規劃最快 2027 年量產 |
| 高明鐵 4573 | · | · | 平台展示 | · | 1.6T(每秒 1.6 兆位元)光模組的光纖對準設備已出貨;120 通道光纖陣列對位平台展示中 | |
| 萬潤 6187 | · | · | 組裝段 | · | 轉投資的光陽光電:1.6T、3.2T、6.4T 光纖陣列的製造與檢測設備已交貨 | |
| 鴻勁 7769 | · | · | · | 布局 | 分選機與主動溫控設備;媒體預期可延伸到 CPO 光電同測,目前未見公開訂單 | |
| 介面耗材 | 旺矽 6223 | · | 驗證中 | 規劃出貨 | · | 外資報告:第二關仍在客戶驗證,第三關預計 2026 年第四季出貨 |
| 穎崴 6515 | · | 探針卡 | 測試座 | 測試座 | 全球測試座龍頭;公司表示 CPO 測試座專案九成以上採用它的方案,相關專案超過 10 個(未公布客戶),預估 2027 年下半年小量、2028 年放量 | |
| 上詮 3363 | 光纖陣列 探針卡 | · | 光纖陣列 本體 | · | 與晶圓測試廠合作開發光纖陣列探針卡,在光纖陣列組裝前先做晶圓級的光損失預檢。本業光纖陣列屬於光學引擎的組裝段,見第二篇 CPO 量產卡在三件事 | |
| 漢測 7856 | 薄膜 探針卡 | 薄膜 探針卡 | · | · | 另有光電同測設備:第二代 2026 年底導入客戶,公司說大規模量產最快 2028 年(見第七節) | |
| 檢測與分析 | 光焱 7728 | 線上檢測 驗證中 | · | · | · | NightJar 掛在探針台上,用近紅外線影像找出漏光位置;量產機型預計 2026 年底完成設備驗證 |
| 宜特 3289 閎康 3587 汎銓 6830 | 分析 | 分析 | 分析 | 分析 | 實驗室失效分析:接「哪裡壞、為什麼壞」的委託,跟著良率改善的進度走 |
「訂單」表示公司或法說會公開說已經拿到採購訂單;「驗證中」「規劃出貨」多半出自外資報告或公司規劃,不等於營收。資料截至 2026/9/17。
台灣公司多半還在驗證和試產,國外設備商在每一關都已經有現成方案。其中 Teradyne 的 Photon 100 一個平台就涵蓋了四關。
| 關卡 | 國外公司與方案 |
|---|---|
| 第一關 光子晶圓檢查 | Advantest(日本・6857)和 FormFactor($FORM)合作的 Triton 探針系統 Jenoptik(德國・JEN)的 UFO 探針卡 Technoprobe(義大利・TPRO)的 Eclipse Dynamic 探針卡 Teradyne($TER)的 Photon 100 測試平台 |
| 第二關 接合後的晶圓檢查 | ficonTEC(德國・未上市)的雙面晶圓測試機 Teradyne 的 Photon 100 |
| 第三關 光學引擎檢查 | ficonTEC 的晶粒級測試機 Teradyne 的 Photon 100 |
| 第四關 完整封裝檢查 | Teradyne 的 Photon 100 SENKO(日本・未上市)、Advantest、VIAVI($VIAV)三家合作,展示 CPO 模組的誤碼率測試 |
名字出現在表上,不代表營收馬上會爆。Insertion 1 到 4 是設備商的分類方式,不是台積電公布的供應商名單;表上的進度多半來自法說會或外資報告,是出貨規劃,不是已經入帳的營收。
看時間軸,不要只看名單。
多數台灣公司在這一格。致茂的 CPO 業務 7 月起開始有營收,其他多半還在客戶驗證。
致茂規劃 CPO 測試設備最快 2027 年量產,並認為第三關「光學引擎檢查」是最大的市場。
摩根士丹利認為 CPO 真正快速成長要等到 2028 年之後;漢測、穎崴也都把放量時間點指向 2028 年。
台積電的規劃是 2026 年起,把自家的 CPO 平台 COUPE(緊湊型通用光子引擎,Compact Universal Photonic Engine)整合進 CoWoS,媒體報導 CPO 預計 2026 年下半年開始量產。COUPE 用 SoIC 技術,把電子晶片以銅對銅的方式直接接在光子晶片上,這正是第二關要測的結構。
漢民測試系統(簡稱漢測,7856)成立於 2004 年,是漢民集團旗下的公司。2025 年 9 月 17 日先在興櫃(正式上市櫃之前的交易市場)掛牌,當時參考價 100 元。
2026 年 9 月,它以每股 2,250 元的承銷價(公開賣股票給投資人的價格)辦理新股公開銷售,打破台股紀錄;前一個紀錄是 2025 年 11 月上市的鴻勁,1,495 元。漢測預計 9 月 22 日轉上櫃。
它不跟 Advantest、Teradyne 搶通用測試機,營收來自測試機周邊的三塊生意:客製化設備、工程服務、探針卡。
營收占比、營收、毛利率、每股盈餘為 2026 年上半年財報數字(經濟日報、鉅亨網);前 8 月營收為公司每月公布營收的累計。
高功耗熱管理系統是目前的主力。AI 晶片測試時很耗電、發熱很大,溫度一飄,量出來的結果就不準,甚至可能把晶片燒壞;這套系統負責在測試時把溫度穩住。它在 2025 年第四季出貨超過 60 套,2026 年上半年占營收超過三成;公司表示,客戶的備料需求已經排到 2027 年中,預估 2027 年這塊營收有機會翻倍。
光電同測設備是 CPO 那條線。第二代設備預計 2026 年底導入客戶,2027 年開始有來自代工組裝廠(ODM、OEM)的設備營收。但公司自己的說法是:2026 到 2027 年都還是少量,真正大規模量產最快要等到 2028 年。
公司列出的其他成長項目,還有先進封裝設備(CoWoS 回焊爐)和 DRAM 記憶體的系統級測試。
熱管理和光電同測設備的時間點,依公司說法(鉅亨網 2026/9/16);2027 年以後都是公司規劃或預估。
工程服務團隊超過 340 人,替晶圓廠和封測廠做設備的安裝、搬遷、保養和維修。
客戶的測試機台越多、越複雜,這塊就越忙,是跟著客戶機台數量成長的生意。
早年接受日本探針卡廠 MJC(日本・6871)懸臂式探針卡的技術移轉,現在產品涵蓋懸臂式、垂直式和薄膜式三種探針卡。
2021 年開始投入薄膜式探針卡,瞄準 5G、6G 和高頻晶片測試,2026 年 4 月取得技術突破。公司目標是 2027 年的探針卡產能比 2026 年多一倍。
全球測試機市場由 Advantest 和 Teradyne 兩強主導,兩家賣的是標準化的大型測試平台。漢測的營收結構完全不同,錢主要來自測試機的周邊:熱管理這類客製化設備、會消耗的探針卡,以及派駐到客戶工廠的工程服務。
這個位置的好處,是跟著「測試量」成長。第二節提到測試時間拉長十倍,就代表更多機台要控溫、更多探針卡要更換、更多設備要維護。換句話說,客戶的測試機裝得越多,漢測的生意就越多;它不是測試機的替代品,而是配套。
要留意的地方也在這裡:
現在賺錢的是熱管理,不是 CPO。光電同測設備,公司自己說 2028 年才會放大,眼前的獲利和 CPO 題材之間有時間落差。
股價已經跑在前面。用 2026/9/17 的興櫃價約 4,745 元,對照上半年每股盈餘 21.5 元乘以二、粗估全年 43 元,本益比(股價是一年每股獲利的幾倍)大約 110 倍。這是拿半年獲利推算全年的粗略算法,不是過去一整年的實際獲利;9 月 22 日轉上櫃之後,價格還會變動。
工程服務和熱管理,都跟著晶圓廠和封測廠的擴廠節奏走。客戶擴廠一放慢,這兩塊會最先受到影響。
這篇的關鍵詞,一句話版。
作者:Jazz Lien、YC Lee · 資料截至 2026/9/17 · 示意插畫由 Gemini 生成 · 實拍照片依各來源授權標示
文中數字與股價截至 2026/9/17;本文為產業研究筆記,不構成投資建議。
主要資料來源: TrendForce:The Critical Bottleneck in CPO Mass Production? It's Testing(2026/4/24); Advantest 公開簡報:HVM Testing for Silicon Photonics and CPO Devices(ECOC 2025);The Elec 整理(2026/8);Teradyne:Photon 100(2026/3/17);SENKO、Advantest、VIAVI CPO 模組測試展示(2026/9);FormFactor:自動化邊緣耦合晶圓測試(2025/7/24);工商時報:光、電、熱三合一成新門檻(2026/9/14); Bejani 等,Micromachines(Technoprobe 整合式光電探針卡對準演算法)(2026/5); Jenoptik:UFO Probe Card 產品頁; FormFactor:CM300xi-SiPh 產品頁; 科技新報:比測試手機處理器花時間!AI 晶片測試需求夯(2026/3/19); 科技新報:致茂 2026 年第一季法說(2026/4/30); 科技新報:CPO 量產延至 2028 年後?大摩重申長期趨勢不變(2026/6/11); 科技新報:高明鐵卡位 CPO 封裝量產(2026/8/25); 科技新報:矽光子論壇,台積電分享 COUPE 技術現況(2025/9/8); 工商時報:CPO 帶旺光測試 外資唱多致茂、旺矽(2026/9/10); 工商時報:CPO 測試需求升溫 穎崴手握逾 10 個專案(2026/9/2); 工商時報:光焱矽光子檢測設備完成開發(2026/7/31); 經濟日報:光焱法說會/NightJar 搶進 CPO(2025/11/20); 經濟日報:穎崴躍全球第一大測試座供應商; 聯合新聞網:羅昇結盟萬潤 搶進 CPO(2026/9/7); 優分析:Insertion 2 雙面光電測試(2026/9/6); 優分析:SEMICON Taiwan 2026 先進封裝供給缺口(2026/9/7); TechInsights:Probe Card Market Hit $2.5B in 2021; 數位時代:印能科技做什麼的?; 數位時代:漢測股價為何一年狂翻 50 倍(2026/9/14); 鉅亨網:漢測 AI 測試點火,營運能見度延伸至 2027 年(2026/9/16); 經濟日報:漢測財報/上半年 EPS 21.5 元; 股感:漢民測試; 市值與股價:TradingView(2026/9/17)。